在半導體製程上,蝕刻更是不可或缺的技術。 4-2 濕蝕刻(Wet Etching). 濕蝕刻是將晶片浸沒於適當的化學溶液中,或將化學溶淬噴灑至晶片上,經由溶液與被蝕刻物間的化學 ...
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