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蝕刻製程
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提供高科技產業安全的廢氣排放系統| 解決半導體製程污染| 達思 ...
晶片製造產業會使用濕式化學製程及乾式蝕刻製程,例如電漿蝕刻法和反應離子蝕刻。從這些製程所產生的廢氣通常含有多樣的氟化合物。達思DAS Environmental Expert ...
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