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蝕刻製程
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【蝕刻升級篇】剖析干蝕刻和溼蝕刻的作用、製程及其原理
等向性蝕刻. 2.設備成本較低且易維護. DET製程介紹. Dry etching(干蝕刻). 將特定氣體置於低壓狀態下施以電壓,將其激發成各種不同的帶電荷離子、 ...
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