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蝕刻製程
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晶圓製程中的乾蝕刻與濕蝕刻是什麼? - 品化科技股份有限公司
最常使用的乾式蝕刻為平行板反應性離子蝕刻。這種方法是將晶圓板置於真空的化學反應室中,導入所需的蝕刻氣體。與上部電極平行放置的 ...
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