平面顯示器產業蝕刻製程使用之原物料SF6,為高溫暖化潛勢(Global Warming. Potential ,GWP)之溫室氣體,雖現況法規並無相關分解、破壞、回收SF6 設備之設置需. 求,但因應 ...
確定! 回上一頁