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蝕刻製程
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https://ir.lib.nchu.edu.tw/handle/11455/6074
EUV應用於TFT-LCD濕蝕刻製程的金屬殘留缺陷改善之研究
摘要: 實務上在薄膜電晶體液晶顯示器的金屬濕蝕刻製程中,常利用準分子紫外光去除附著在基板上的油污 ...
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