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蝕刻製程
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https://www.itis.org.tw/NetReport/NetReport_Detail.aspx?rpno=215471630&type=netreport
美商科林研發(Lam Research)於乾蝕刻設備之關鍵技術與市場 ...
乾蝕刻主要與微影製程搭配,先透過微影技術定義光阻位置與結構,選定出蝕刻區域後,再利用化學反應或物理轟擊的方式,將蝕刻區域去除,保留下來的區域即為 ...
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