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蝕刻製程
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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理
DET製程介紹. Dry etching(干蝕刻). 將特定氣體置於低壓狀態下施以電壓,將其激發成各種不同的帶電荷離子、原子團、分子以及電子(這種物質狀態稱 ...
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