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聚焦式離子束顯微鏡的工作原理- 有生資年高瞻遠矚 - Google ...

典型的離子束顯微鏡包括液相金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子偵測器、5-7軸向 ... 選擇性的材料蒸鍍；（3）強化性蝕刻或選擇性蝕刻；及（4）蝕刻終點偵測等。

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