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蝕刻終點 偵 測
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有機薄膜電晶體微結構分析技術開發
強化性蝕刻或選擇性蝕刻、蝕刻終點. 偵測、奈米尺度操控、奈米尺度之高. 解析影像觀測。在探討OTFT 之材料. 界面、電性或是製程條件時,最有力.
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「蝕刻終點 偵 測」
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