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濕蝕刻矽薄膜厚度即時監控之新穎方法 - 台灣儀器科技研究中心

本文提出利用表面聲波感測器即時監控濕蝕刻中矽晶片薄膜厚度之新穎方法。例如壓力感測 ... 收光波長範圍不同，以干涉光譜儀偵測矽薄膜之吸.

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