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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

偵測 電漿的發光變化來決定蝕刻和化學氣相 ... 電漿蝕刻. ▫ 氧化物蝕刻製程，在電漿中使用CF. 4. 產生氟(F)的自由基 ... 射頻電漿清潔的終點.

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