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黃光製程從入門到精通｜100問 - 看文娛

答：上光阻→曝光→顯影→顯影后檢查→CD量測→Overlay量測. 2、何為光阻？ ... EPD：偵測蝕刻終點；End point detector利用波長偵測蝕刻終點.

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