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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

答：偵測蝕刻終點;End point detector利用波長偵測蝕刻終點. 何謂MFC？ 答：massflow controler氣體流量控制器;用於控制反應氣體的流量. GDP 為何?

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