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行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告

圖十九孔洞內材料EDS 偵測. ... 了在碳化矽背向通孔中最常見的問題，蝕刻柱狀物的形成與避免。 ... 下，其已逐漸走向莫爾定律的終點，且元件特性已無法滿足一些特.

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