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子計畫三：蝕刻製程橢圓儀線上即時量測系統之研製(I) - 9lib TW

清大蝕刻研究室利用量測及計算膜厚所需之模型兩方面同時進行比對和修正，以達到量測之膜厚具所需要的可信度，目前已在偵測蝕刻終點方面有所突破，並可由橢圓參數的穩定 ...

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