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等離子刻蝕機 - 中文百科全書

雷射干涉終點法（IEP）是用雷射光源檢測透明薄膜厚度的變化，當厚度變化停止時，則意味著到達了刻蝕終點。其原理是當雷射垂直入射薄膜表面時，在透明薄膜前被反射的光線與 ...

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