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電漿蝕刻技術於晶圓切割產業之應用 - 機械工業網

摘要：電漿蝕刻製程在半導體晶片製造中為相當成熟的前段製程技術，已廣泛被應用 ... 若能盡早偵測到蝕刻接觸到膠帶表面的終點(end-point)時，則可以有效的消除缺口效應 ...

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