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Chapter 9 蝕刻

械研磨晶圓. 加熱製程蝕刻與光封裝 離子佈植與 光阻剝除阻剝除光罩. 最後測試 ... 電漿的顏色會改變• 光學感測器可以用來做為電漿蝕刻製程中偵測變化和顯示終點的工具 ...

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