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[心得] 半導體黃光製程工作內容分享-4 - 精華區NCKU_PHY_T-T

在一般Fab內etch有十多種氣體可供選擇,分別扮演物理蝕刻與化學蝕刻的角色. ... 在偵測更換時間或是蝕刻終點時是利用time mode與n-point mode.

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