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Chapter 7 電漿的基礎原理

A + hν (光子). • 不同的原子或分子有不同的發光頻率，這就. 是為什麼不同的氣體在電漿中會有不同的顏. 色. • 發光顏色的變化用來做為蝕刻和反應室清潔. 步的終點偵測 ...

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