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電漿輔助系統中之鑽石合成與矽材料蝕刻研究

於矽材料蝕刻中，首先對以感應電耦式電漿(Inductively coupled plasma, ... 所得結果不僅符合一般蝕刻製程的規格需求並且能正確的偵測出蝕刻終點(End point detection) ...

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