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ETCH知識100問，你能答對幾個？

蝕刻種類:答：(1)干蝕刻(2)濕蝕刻蝕刻對象依薄膜種類可分為:答：poly,oxide,metal ... 答：偵測蝕刻終點;Endpoint detector利用波長偵測蝕刻終點.

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