你即將離開本站

並前往https://www.tsri.org.tw/CommonUtilServlet?type=2.84&file=devicesd1s1a1CFd1s1a1E1_D.pdf

TCP 9400SE注意事項

3. 本機台裝有終點偵測器，任何蝕刻製程最好先使用控片做蝕刻測試並依狀況. 以膜厚量測儀器或α-step (P-10), SEM 做蝕刻速率量測及剖面觀測。 4. 小於1μm 線寬之特殊製程需 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「蝕刻終點 偵 測」的人也找了：

  1. 蝕刻是什麼
    2.
  2. 濕蝕刻原理
    3.
  3. 半導體乾蝕刻技術
    4.
  4. 蝕刻製程ppt
    5.
  5. 蝕刻設備
    6.
  6. icp蝕刻原理
    7.
  7. 蝕刻製程工作內容
    8.
  8. 蝕刻氣體
    9.