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類神經網路應用於半導體蝕刻製程圖形辨識

終點偵測(End point detection)是一項非常重要的技. 術，以避免過度蝕刻降低良率(以製程的角色而. 言)。乾式蝕刻製程到達完成點[1]，稱為蝕刻終點，. 一般乾式蝕刻製程會 ...

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