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離子層析-IC 蝕刻液中的混酸比例會影響蝕刻效果

1.硝酸(HNO3)。 2.氫氟酸(HF)的水溶液。 3.醋酸(CH3COOH)溶液。 另外一般濕式製程中的蝕刻及清洗則使用大量的酸鹼溶液，基本上有氫氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、 ...

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