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一种酸性蚀刻液及其制备方法和应用的制作方法 - X技术

还有磷酸中添加氟化氢的蚀刻液，还有硝酸、氢氟酸和氟硅酸组成的蚀刻液。 ... 此外，在氟硅酸浓度过低的组分中，蚀刻液中水的含量增大，随硅片的种类会出现蚀刻后品质 ...

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