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最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)

種類. (所有潔淨完後用. DI 水沖洗). 化學式. Piranha(SPM) 硫酸/過氧化氫/DI ... 濕式蝕刻的化學反應是屬於液相(溶液)與固相(薄膜)的反應，當濕式蝕刻進行動作時，首.

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