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第三章應用理論與技術 - 國立臺灣師範大學

影響非等向性溼式蝕刻的因素十分複雜，主要的因素包括矽晶圓的晶格方. 向、蝕刻液的選擇、操作溫度、蝕刻時間、蝕刻液濃度及攪拌的方式【53】，. 其它的像添加物的種類、矽 ...

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