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半導體先進製程用之蝕刻液及清洗液配方開發( II ) - NCU ...

現行先進製程所需的濕式化學品，其配方大多掌握在國外廠商手中；例如：台積電目前之乾蝕刻清洗液大多從德國的巴斯夫購買，氧化矽蝕刻液則從日本的關東 ...

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