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生產晶片用的蝕刻機和光刻機有什麼區別？ - 劇多

在生產晶片過程中，光刻機是用準分子鐳射的紫外光源作光束、透射印有電路圖形的掩模，經透鏡曝光並補償光學誤差後，將電路圖按比例縮小對映到矽片上塗覆的 ...

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