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蝕刻

蚀刻 技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。 蝕刻製程是指介電質蝕刻或導體蝕刻，用以指明從晶圓上移除的薄膜材料類型。 主要 ...

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