你即將離開本站

並前往https://kknews.cc/zh-tw/science/l246re9.html

「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理

Dry etching中起作用的主要是radical和ion。Radical是電中性，因為化學性質很活潑，所以和膜表面分子發生反應，可達到膜層去除的作用。

確定！ 回上一頁

查詢 「蝕刻是什麼」的人也找了：

  1. 蝕刻半導體
    2.
  2. 蝕刻原理
    3.
  3. 蝕刻製程
    4.
  4. 蝕刻目的
    5.
  5. 蝕刻製程ppt
    6.
  6. 蝕刻設備
    7.
  7. 濕式蝕刻機
    8.
  8. 蝕刻機
    9.