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電漿蝕刻原理 - Mvg5014

乾式蝕刻的非等向性，和離子轟擊有很大的關係。 以離子密度來形容帶正電荷離子在電漿內的數量離子能量是離子往電極板轟擊時所具備的能量採ecr ...

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