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新電子 12月號/2020 第417期 - 第 39 頁 - Google 圖書結果

兩個值得注意的挑戰是GaN/AlGaN對蝕刻材料的高選擇性,以及因p-GaN蝕刻而在 ... 另外,在晶片上層沉積較厚的銅可以提高熱容量和導電性,同時固化銅導線架和橋接程序。

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