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TWI625799B - 導線架結構的製作方法 - Google Patents

以阻障層作為電鍍罩幕對導線架進行一電鍍製程，以形成一金屬鍍層於電鍍表面。最後，移除阻障層。 ... 在本發明的一實施例中，上述的圖案化製程包括蝕刻製程。

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