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产品技术-刻蚀设备 - 中微半导体
在半导体器件的整个制造过程中,刻蚀步骤多达上百个,是半导体制造中最常用的工艺之一。 中微公司专注于研发干法刻蚀(等离子体刻蚀)设备,用于在晶圆上加工微观结构。
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