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行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告

本研究利用四種不同製程參數製作薄膜太陽能發電晶片，量測其. 微晶矽層薄膜電阻率以探討其熱量積存的效應；並利用拉曼光譜、掃. 描探針顯微鏡、掃瞄電子顯微鏡分析試片 ...

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