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非接觸薄膜電性檢測技術與應用 - 機械工業網

摘要：非接觸式阻抗量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非 ... 薄膜電性均勻性直接影響到後續產品的特性表現，導電率、片電阻、電子遷移率或載子 ...

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