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薄膜電阻量測
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第一章四點探針電阻量測
料,從電阻係數、薄膜厚度、到電路寬度都是製程參數的函數如鍍膜真空度、. 溫度、速率等。因此,透過電阻量測往往可以檢測出這些參數在材料與電路製.
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