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四點探針量測系統 - 國立清華大學材料科學工程學系

可以經由輸入薄膜厚度、試片大小，即可量測待測物之. 1.電阻值Resistance. 2.片電阻率Sheet resistivity. 3.體電阻率Volume resistivity. 4.電導率Conductivity.

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