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TaN薄膜材料及微波功率薄膜电阻器研究 - 学位论文下载，博士 ...

【摘要】： 作为射频与微波系统的重要组件—微波功率薄膜电阻器可广泛应用于雷达、通讯、电子对抗等领域。本文主要开展了三个方面的工作:材料方面,采用反应直流磁控溅射 ...

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