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微纳米加工结构【声表面波 溅射沉积】薄膜压力传感器

Ø 离子束直接沉积薄膜的功能。 ... Ø 化学辅助离子束刻蚀（CAIBE），独立控制物理与化学刻蚀分量，提高材料刻蚀率和与掩模材料的刻蚀 ... 制取巨磁电阻生物传感芯片。

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