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論文名稱: 旋轉塗佈製程的理論分析 ... 論文摘要旋轉塗佈技術為工業界廣泛使用於在平板或基質上製造薄膜的技術,在本論文中主要 分為兩大部分:薄膜性質的理論分析與 ...
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