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低應力薄膜製程技術, 執行單位工研院電子所 - 諸彼特開放資料 ...

低應力薄膜製程技術於經濟部技術處–可移轉技術資料集。 ... 0.8 ppb、Bacteria < 1 cfu/ml、total SiO2 ≦ 1 ppb、ion < 20 ppt、Particle ≦ 2 counts/ml。

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