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薄膜製程目的
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半導體製程簡介
IC依功能及使用目的,進行線路及半導體元件的 設計並製作於晶圓表層。 ... ③重複薄膜製作→微影製程→蝕刻(並去除光阻)→離子植入(並去除二氧化矽薄膜)等步驟。
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