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[设备管理]PVDCVD设备- MBA智库文档

製程 設備主機介紹課程目的與大綱• AMAT System – Mainframe+Process ... Materials發展了許多以P-5000為主體而加掛於其上的製程反應室，包括蝕刻製程及薄膜製程。

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