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薄膜沉積技術 半導體製程中所稱的薄膜，是指厚度在1μm以下 ...

應用在VLSI的薄膜種類. ... 清洗技術◇ 半導體元件的製造上，清洗的目的是為了去除基板表面的各種污染。 ... 從LSI時代起，薄膜沉積技術正式引進半導體製程。

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