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壓電薄膜加速度微感測元件之製程規劃與研究 - 國立高雄科技大學

本研究完成了感測元件的結構製作，及薄膜材料. 電性量測，並分析結構幾何參數的製造誤差。 ... 背景與目的 ... 薄膜需退火處理成相，而高溫製程使得鈦會擴散.

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