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MEMS相關用語

晶圓粘合, 為滿足薄晶圓的處理和製程的需要而粘合支撐用基板（支撐晶圓）. 晶圓接合, 以封裝等為目的 ... 羅姆為實現客戶的想法、設計，提供“薄膜壓電MEMS代工服務”。

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